微小電気機械デバイスとその製造方法および技術的実現要素

技術的な実装要素:

上記の問題に鑑み、本発明が提案される。 本発明は、片持ち梁の使用を避けることができ、より高い耐久性を有し、より単純な構造を有する新規なメモリデバイス構造を提供する。 本発明はまた、簡単なプロセスステップを有し、製造収率を改善することができる、メモリデバイスの新規な製造方法を提供する。

例示的な実施形態によれば、微小電気機械デバイスは、絶縁基板と、絶縁基板と、を含むことができる。 支持ポストが基板上に配置され、支持ポストはプルーフマスを支持する。 基板上で基板を取り囲み、マスブロック上に配置された１つ以上の対の電極板であり、電極板の各対は、マスブロックの両側に配置される。 １対以上の電極板に対応する１対の電極板または複数対の電極板が配置された絶縁カバー板とを有し、カバー板が１対以上の電極板対を覆う場合、１対以上の電極板は、電極のそれぞれは、１対以上の電極板と電気的に接触している。

いくつかの実施形態では、支持ポスト、プルーフマス、および１対以上の電極板は、導体または半導体材料で形成され、支持ポストに接続された導電リードは、基板の片側から接続される。 引き出し、１つまたは複数の電極対に接続された導電性リードは、カバープレートの一方の側から引き出される。

いくつかの実施形態では、カバープレートは、支持ポストおよびプルーフマスを露出させるために、１つまたは複数の電極対の間に開口部を有するように形成される。

いくつかの実施形態では、プルーフマスの高さは、１対または複数対の電極板の高さよりも低い。

いくつかの実施形態では、微小電気機械装置を加速度計として使用し、１対以上の電極板を使用してプルーフマスの位置の変化による静電容量の変化を測定する。

10. いくつかの実施形態では、微小電気機械デバイスはジャイロスコープとして使用され、電極板の1つまたは複数の対は、少なくとも電極板の第1の対および電極板の第2の対を含み、電極板の第1の対は駆動用である。信号を印加してプルーフ マスを駆動し、第 1 対の電極板間で振動させます。第 2 対の電極板を使用して、プルーフ マスの位置の変化による静電容量の変化を測定します。

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