ナノコンポジットシステムとナノ材料の研究方法、技術的実現要素
Sep 16, 2022
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技術的な実装要素:
5. 本発明が解決しようとする技術的課題は、ナノ材料のナノファブリケーション、物性制御、およびその場での物性特性評価を同時に行うことができるナノ材料研究用のナノメートル統合システムおよび方法を提供することである。基礎物理に対するナノメータ統合システムの効果。 法律の研究力とマイクロ・ナノデバイスの処理能力。
6. 上記の技術的問題を解決するために、本発明が採用する一種の技術スキームは、
サンプルステージ、プローブアセンブリ、光学アセンブリ、電気アセンブリ、環境制御アセンブリ、および中央コントローラを備える、ナノ統合システム; 8.
8. プローブ アセンブリ、光学アセンブリ、電気アセンブリ、および環境制御アセンブリはすべて、サンプル ステージ上に配置されます。
9. プローブ アセンブリ、光学アセンブリ、電気アセンブリ、および環境制御アセンブリは、それぞれ中央コントローラに接続されています。
10. 上記の技術的問題を解決するために、本発明が採用する別の技術スキームは、
11. 上記のナノコンポジットシステムを利用してナノ材料を研究する方法であって、
12. ナノ材料に対してナノファブリケーションを実行する場合、中央コントローラは、プローブ アセンブリと光学アセンブリを制御して、ナノ材料に対して同時処理、スプライシング処理、または閉ループ フィードバック処理を実行します。
13. 本発明の有益な効果は、ナノサイエンスに広く存在するマイクロ・ナノ構造、光学特性、電気特性を使用
特性と環境の間の相互依存、相互作用、および相互影響の概念であり、プローブ コンポーネント、光学コンポーネント、電気コンポーネント、および環境制御コンポーネントを同じサンプル ステージ上に組み合わせ、中央制御システムによるナノ材料の処理を実現します。物性をその場で制御し、物性をその場で特性化することにより、処理、制御、および特性化の 3 つの機能の組み合わせが実現されます。 各コンポーネントが一緒に使用された後、ナノ材料は光学的、電気的、機械的、熱的などに処理され、さまざまな環境での光学特性の特性評価、さまざまな環境での電気特性の特性評価、およびさまざまな環境での物理的および化学的特性の調整が可能になります。環境。 コンポーネント間の単純な重ね合わせの効果が改善され、ナノ統合システムの機能の多様性が改善され、基本的な物理法則に関するナノ統合システムの研究能力とマイクロナノデバイスの処理能力が改善されます。

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