サファイア感圧構造のためのサファイアウェーハ直接接合法の技術的実現要素

技術的な実装要素:

5.既存の技術では、サファイア感圧構造内のサファイアウェーハの直接接合を実現することが困難であり、準備された圧力センサーの作動温度が低いという問題を解決するために、本発明は、サファイアウェーハの直接接合を提供する。サファイア感圧構造。 接着方法。

6. 本発明は、以下の技術スキームを採用することによって実現される: サファイア感圧構造を備えたサファイアウェーハの直接接合方法であって、以下のステップを含む方法: 、プレスクライブサファイアウェーハａを得る。 ２）キャビティからサファイアウェーハｂをエッチングし、機械切断またはレーザー切断を使用してサファイアウェーハｂを規定し、エッチング、事前登録サファイアウェーハｂを得る。 3)、事前スクライブ サファイア ウェーハ a と、エッチングおよび事前スクライブ サファイア ウェーハ b を rca で順次洗浄し、脱イオン水で超音波洗浄し、濃リン酸溶液でエッチングしてから配置し、希薄な水酸基層を形成します。 0.5-1 mol/l の濃度の硫酸を使用し、脱イオン水ですすぎ、親水性の前処理されたサファイア ウェーハ a とサファイア ウェーハ b を取得します。

４）親水化前処理後のサファイアウエハａとサファイアウエハｂを位置合わせして重ね合わせ、仮接合用ボンダーに投入し、仮接合サファイアウエハを得る。 5) 接合前のサファイアウェーハを配置する 接合されたサファイア ウェーハを固定具に配置して固定し、接合装置の真空チャンバーの加熱室の下の圧力プラットフォーム、および接合の上部圧力プラットフォームに配置します。機器は

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